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離子注入氣體

產品簡介
至昕離子注入氣體采用創新性燒結吸附和氣體灌裝技術，極大地提高了氣體吸附密度，提高了客戶的生產效率。

產品特性

  • 高純度
  • 高吸附密度

產品應用

半導體集成電路制造

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